佳能發售用于生產車載大型特殊顯示器及智能手機顯示器的FPD新曝光設備
更大的曝光幅度 更強的生產性能
日期：2024-05-27
佳能將在2024年6月上旬發售支持使用第6代玻璃基板*1的FPD（Flat Panel Display）曝光裝置新產品MPAsp-E1003H。其擁有更大的曝光幅度，生產能力將進一步提升。
MPAsp-E1003H
車載橫向大型特殊顯示器（示意圖）
近年來，隨著自動駕駛技術的發展和電動汽車市場的擴大，對于各式各樣的車載顯示器的需求量越來越高。市場對于車載和智能手機的顯示器，要求更輕薄、輕量，高精度，同時面板制造中不僅要確保品質，而且追求更高的生產效率。新品“MPAsp-E1003H”依托曝光幅度的擴大技術以及各種新技術的應用，在取得更好的套刻精度的同時還能大幅提升生產效率。
支持使用第6代玻璃基板的最大*2的曝光幅度，生產性能提升
新產品采用了投影光學系統，可實現1.5μm*3（L／S*4）的高分辨率，且一次曝光幅度擴大約1.2倍*5。該投影光學系統曾用于“MPAsp-H1003H”（2022年7月發售），可用于生產使用第8代玻璃基板*6一次性曝光、用于大型電視等的65英寸面板。在一塊玻璃基板上，如果生產智能手機面板等產品，此前需要6shot曝光，而新產品僅需4shot曝光，生產性能大幅提升。此外，在生產車載橫向大型特殊顯示器時，也可以做到無接縫2shot曝光。且，玻璃基板搭載臺的驅動速度提升約60%，tact time提升約14%*7，有效提升了量產效率。
曝光幅度約擴大1.2倍
第8代玻璃基板上采用的投影光學系統的圖片
智能手機用顯示器的shot 布局示例(左圖)，大型特殊顯示器的shot 布局示例（右圖）
根據用途可進行4 shot或者2 shot曝光
新開發的非線性補正模塊，實現高套刻精度
新產品除了采用和支持第6代玻璃基板的“MPAsp-E813H”（2014年9月發售）一樣的每塊面板多點同時測量的對位方式，此方式既保證了生產效率也實現了高精度曝光。同時，新產品還搭載了新開發的非線性補正REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模塊。搭載REI 模塊后，即使曝光幅度擴大也實現了±0.30μm高套刻精度。
定位測量，REI模塊搭載位置
定位測量示意圖
通過REI 模塊對投影的圖案進行均等補正
使用REI Unit后的曝光圖案（示意圖）
強化制造工藝
新產品沿用了曾經搭載在“MPAsp-H1003H”上實現了超分辨率技術的照明模式切換機構，可根據需要曝光圖案的種類進行照明模式切換，從而適配各類制造工序的曝光。
照明模式切換設備和曝光示意圖
新產品在形成圓弧光的機構中，配備曝光狹縫自動調整機構（SIC：Slit Illuminance Control）。通過自動控制光線通過的狹縫寬度，可以改變曝光光線的強度分布，從而實現穩定的曝光線寬。
曝光狹縫自動調整機構
自動控制光通過狹縫的幅度實現穩定的曝光線寬
同時，新產品還采用了可配合曝光布局自由選擇玻璃基板縱橫方向的universe chuck，首次實現可應對車載顯示器多樣化布局需求。
橫向縱向皆可固定玻璃基板的universe chuck
新產品MPAsp-E1003H通過強化上述制造工序的工藝應對能力，制造質量更加穩定。
- 1,500×1,850mm尺寸的玻璃基板，用于制造以智能手機為主的中小型顯示器面板。
- 佳能生產的支持使用第6代玻璃基板的FPD曝光設備。
- 1微米是1米的百萬分之一（=千分之一毫米）。
- Line and Space的縮寫。Line和Space等距排列的圖案。
- 和「MPAsp-E813H」比較。
- 2,200×2,500mm尺寸的玻璃基板，現在主要用于制造電視顯示器面板。
- 和「MPA-E813H」比較。
- σ（sigma）為照明系的NA（開口數）和投影系的NA的比。
- Contact Hole縮寫。為了形成布線而貫穿多層的圓形圖案。
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